こんにちワン！科犬です。
「マスクアライナーと呼ばれる露光装置」をご紹介！！
この露光装置は一言で言うと、
前回お話しました「マスクレス露光装置」と異なる存在の露光装置なのです！
「マスクレス露光装置」は
フォトマスクを使わずに基板やウェハへ直接パターンを露光できますが、
「マスクアライナー（露光装置）」は、
“マスクレス露光”ではなく、フォトマスクを介して露光する方式。
【メリット】
〇初期コストが低い：マスクレス方式に比べ、装置自体の価格が安く導入しやすい。
〇一括露光による高処理が可能：フォトマスクを用いた大面積同時露光が出来る。
〇解像度・均一性の安定：高精度に製作されるので安定したパターン品質が得られる。
〇既存プロセスとの親和性が高い：半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）業界など従来技術で広く使われており、プロセス管理や周辺装置との相性が良い。
【デメリット】
〇フォトマスク製作の手間感：設計変更のたびにフォトマスクの作り直しが必要。
〇設計変更への柔軟性が低い：試作に時間を要する。修正が発生するとフォトマスクの再手配や修正が必要になる為、スピード感が落ちる。
〇高精細化に制約：光学的な限界やマスク精度の制約から、極小パターンの形成は難しい。
〇フォトマスクの管理が必要：フォトマスクの保管場所の確保や、保管/交換時の埃や傷による不良リスクある。
【主な用途】
・プリント基板（PCB）製造
・フラットパネルディスプレイ（FPD）製造
・半導体パッケージ基板製造
・フォトマスク製造
・タッチパネル製造
【展望】
・量産分野で高需要を継続
・微細化対応には限界なため、微細パターン分野はマスクレス露光装置や次世代露光装置へ移行
・コスト・スピードの課題
・新市場での活用余地 ※車載電子機器、パワー半導体基板、医療用センサなど
・先端分野は他技術にシフトする可能性があり、二極化。
今回は「マスクアライナー（露光装置）」のメリット、デメリット、用途、展望など徹底解剖しました！
「マスクアライナー（露光装置）」にはフォトマスク製作コストや微細化対応には限界が予想されており、少量多品種生産には向いていない部分も。。。
このような、露光装置のぶっちゃけ良し悪しが分かるのも科犬ブログだからこそ！！
次回もお楽しみに～！！
