露光装置 露光装置part1
こんにちワン!科犬です。本日は大日本科研が最も得意にしている「マスクレス露光装置」を徹底解剖。「マスクレス露光装置」を一言で言うと、フォトマスクを使わずに基板やウェハへ直接パターンを描画できる露光装置のこと!!半導体やプリント基板、FPD(...
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